特點(diǎn)：
1.行程大，測量范圍更廣
2.自主開發(fā)QMS3D軟件，可滿足客戶不同測量需求
3.具有快速自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)尋邊，強(qiáng)大的編程和自動(dòng)測量功能
4.采用亞像素細(xì)分技術(shù)，提高邊界分辨能力
5.配置操縱手柄，亦可軟件程控
6.SPC數(shù)據(jù)處理分析，大批量治具測量
7.X、Y、Z三軸伺服控制，定位精度高速度快，運(yùn)行平穩(wěn)
8.采用自主開發(fā)的嵌入式模塊控制系統(tǒng)，將復(fù)雜的控制系統(tǒng)集成于儀器內(nèi)部，穩(wěn)定性更高
9.程控恒流驅(qū)動(dòng)式八區(qū)表面冷光光源，可適應(yīng)復(fù)雜的工件測量
10.X、Y向?qū)к壊捎酶呔然◢徥哂懈叻€(wěn)定性及剛性，不易變形
11.X、Y向移動(dòng)的部份采用低摩擦，高速度，高精度的氣浮移動(dòng)導(dǎo)向系統(tǒng)
12.采用同布帶或絲桿傳動(dòng)，精度高，穩(wěn)定性好
13.花崗石直線度和玻璃平面度好，花崗石導(dǎo)軌無摩擦、不磨損
14.可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置，快速定位，方便快捷
技術(shù)規(guī)格參數(shù):
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長度單位：mm |
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| 參數(shù)/機(jī)型 | VMS-6060H | VMS-6090H | |
| 工作臺(tái) | X,Y軸行程 | 600×600 | 600×900 |
| Z軸行程 | 200調(diào)焦及輔助測量 | ||
| 玻璃臺(tái)尺寸 | 640×770 | 640×1070 | |
| 工作氣壓 |
≥0.5MPa |
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數(shù)字測量系統(tǒng) |
光柵尺分辨力：X、Y、Z軸0.0005 |
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0.7~4.5×變焦鏡頭，總視頻放大倍率為20~128× |
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X,Y軸馬達(dá)運(yùn)動(dòng)速度 |
<300mm/s |
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Z軸馬達(dá)運(yùn)動(dòng)速度 |
<50mm/s |
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儀器外形尺寸(L×W×H) |
1500×1300×1510 |
1800×1300×1510 |
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儀器重量(Kg) |
1281 |
1500 |
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