特點：
測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
特點：
1. Z軸光柵尺分辨力為0.1μm
2. X、Y軸采用空氣軸承、花崗石導向，保證了機械系統(tǒng)的精確穩(wěn)定，提高了測量精度
3. X、Y、Z三軸伺服控制，定位精度高、速度快，運行平穩(wěn)
4. 同軸光/底光測量
5. 內(nèi)置偏光測量光學模塊
6. 自主開發(fā)QMS3D-M軟件，高清晰進口1/2"彩色攝像機
7. 可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置，可適應復雜工件的測量
8. 可實現(xiàn)Z軸自動對焦
9. 具有偏光和DIC檢測功能
10. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
技術(shù)規(guī)格參數(shù)：
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型號
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MTM-6065H
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MTM-6090H
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工作臺
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玻璃臺尺寸(mm)
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1070 x 640
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1070 x 640
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X、Y軸運動行程(mm)
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600 x 650
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600 x 900
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Z軸行程(mm)
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200
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外形尺寸(mm)
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1800 x 1350 x 1450
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儀器重量(kg)
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1300
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1500
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X、Y軸光柵尺分辨力(μm)
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0.5
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Z軸光柵尺分辨力(μm)
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0.1
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示值誤差(μm)
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E1XY=( 2.5+ L/200) μm (L為測量長度，單位mm) |
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物鏡放大倍數(shù)誤差
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包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≦0.08%
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落射照明光源
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可調(diào)高亮度鹵素燈
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底光照明光源
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可調(diào)高亮度LED燈源
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目視系統(tǒng)
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影像系統(tǒng)
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物鏡放大倍數(shù)
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5X、10X、20X、50X(可選配100X)
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5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡
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目鏡放大倍數(shù)
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10X雙鏡筒
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1/2”CCD攝像機
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視頻總倍率
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50X ~500X
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142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900)
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